.罗茨真空泵总体结构型式
罗茨真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。目前国内外的罗茨真空泵总体结构大致有三种型式:(1)立式结构的进、排气口水平设置,装配和连接管路都比较方便。但泵的较高,在高速运转时稳定性差,故这种型式多用于小泵。(2)卧式泵的进气口在上,排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便,可将排气口从水平方向接出,即进、排气方向是相互垂直的。此时,排气口可以从左或右两个方向开口,除接排气管道一端外,另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构低,高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。(3)泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制,转子装配方便,泵占地面积小。但泵较高且齿轮拆装不便,润滑机构也相对复杂。仅见于国外产品。
ZJ系列罗茨真空泵定期检查:
1、每日检查:
a)油位检查:油量过多,使温度升高,油量过少,造成润滑不良。
b)温度检查:用温度计检查泵各部位温度。
c)电动机负荷检查:用功率表或电流,三级罗茨真空泵哪家好,电压表测量电动机负荷。
2、ZJ系列罗茨真空泵每月检查:
联轴器及垫片是否损坏和松动。
3、ZJ系列罗茨真空泵每3个月检查:
齿轮箱内润滑油是否变质。
4、ZJ系列罗茨真空泵每6个月检查:
a)前盖轴承箱内润滑油是否变质。
b)活塞环及活塞环衬套是否磨损。
c)齿轮微量程度的磨损对转子正常运转是否产生影响,是否需要调整。
济南诚泽机械有限公司专业生产罗茨鼓风机,三叶罗茨鼓风机,高压双油箱水冷式风机,沼气增压泵,管道增压泵,真空泵的厂家,三级罗茨真空泵多少钱,公司本着“质量优质,诚信为本”的指导方针,以过硬的产品质量,及时完善的售后服务已在国内外市场占领一席之地。公司不仅有使您满意的销售,而且有令您放心的售后服务,彻底追求产品质量和建立相应的售后服务体系是我们一贯的方针,我们将总结经验、不断进取,研制出更新、更好的产品来满足用户的需求,用我们全位的服务,为您企业的发展作有力的后盾。
真空腔室的模块化设计和加工
该设备属生产设备,主要功能包括:钛/锆磁控溅 射镀装饰膜,反应膜、复合膜。其它功能还包括:行星旋转基片台、负偏压辅助沉积、PLC+HMI真空自动/手动控 制、水冷循环及断水保护系统,预留多个标准接口。真空腔室的模块化设计和加工。通过此项技术提高了腔室设计和加工效率,提高了重大部件的加工质量和互换性,缩短了整条线的交货周期。使用高性能旋转阴极和中频电源,三级罗茨真空泵生产厂家,大蒸发电流达到400A,大大提高生产效率及膜层性能;通过辅助5段供气,提高真空环境工艺气体分布均匀性,提高膜层质量;安装整体式模块化阴极屏蔽挡板,大大减少维修时间,降低维修成本。阴极采用隔离冷却装置,改变以往阴极磁钢因工作在循环水中不断吸附杂质而影响磁场强度和寿命。新方法使磁钢工作在真空环境,大大提高了阴极稳定性和寿命。采用自主研发的倾斜式磁钢矩阵排列,扩大了阴极靶材表面气隙场范围,增大了靶材被刻蚀溅射的面积,提高靶材的利用率和均匀性。表面气隙场水平分量均匀性在±2%以内。使用自主研发的三维空间磁场测量分析系统,系统用于测量磁钢阵列的空间气隙场分布及磁钢安装、调整,为阴极研发提供有效的技术手段。触摸屏+PLC,可以实现电脑全自动控制,自动/手动随时切换。同时配备先进的圆柱磁控溅射装置和高效的电阻加热蒸发装置,将磁控溅射技术和加热蒸发技术的有效结合,江苏三级罗茨真空泵,使设备的适用范围更广,可得到多种不同性能的膜层;独特的双门(室)结构,使工件及镀料的装卸与镀膜可同时进行,大大提高工作效率。
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